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- 制樣及前處理設(shè)備
- 配件耗材及配套產(chǎn)品
日立掃描電鏡_SU3800/SU3900落地式掃描電子顯微鏡特點(diǎn)：
①SU3900標(biāo)配多功能大樣品倉(cāng)，可應(yīng)對(duì)大型樣品的觀察
■樣品臺(tái)可搭載大/重樣品
通過更換樣品提示，可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品
選配樣品交換倉(cāng)，可在主樣品倉(cāng)保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品，大大提高了工作效率
具備樣品臺(tái)移動(dòng)限制解除功能,提高了自由度*
紅外CCD探測(cè)器，提高了樣品臺(tái)移動(dòng)的性
■支持全視野移動(dòng)。SEM MAP支持大樣品的全視野觀察
與GUI聯(lián)合，可配備樣品倉(cāng)室導(dǎo)航相機(jī)
覆蓋整個(gè)可觀察區(qū)域
支持360度旋轉(zhuǎn)
②隨著各種自動(dòng)化功能的強(qiáng)化，操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化。
■一個(gè)鼠標(biāo)就能夠輕松操作的簡(jiǎn)約GUI
■各種自動(dòng)化功能
自動(dòng)調(diào)整算法經(jīng)改良后，等待時(shí)間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)
提高了自動(dòng)聚焦精度
搭載Intelligent Filament Technology（IFT）
■Multi Zigzag，可實(shí)現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察
■Report Creator，可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報(bào)告
③可提供滿足測(cè)試需求的應(yīng)用解決方案
■可滿足多種觀察需求的探測(cè)器
搭載高靈敏度UVD*，支持CL觀察
高靈敏度半導(dǎo)體式背散射電子探測(cè)器，切換成分/凹凸等多種圖像
■配備了多功能大樣品倉(cāng)，可以搭載多種配件
■SEM/EDS一體化功能*
■三維顯示測(cè)量軟件 Hitachi Map 3D*
■支持圖像測(cè)量軟件Image pro
*選配件
日立掃描電鏡_SU3800/SU3900落地式掃描電子顯微鏡規(guī)格：
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ITEM |
SU3800 |
SU3900 |
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二級(jí)電子分解能 |
3.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、高真空模式） |
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15.0nm（加速電壓1kV、WD=5mm、高真空模式） |
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背散射電子分解能 |
4.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、低真空模式） |
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倍率 |
×5～×300,000（照片倍率*1） |
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×7～×800,000（實(shí)際顯示倍率*2） |
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加速電壓 |
0.3kV～30kV |
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低真空度設(shè)定 |
6～650 Pa |
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圖像位移 |
±50μm（WD＝10mm） |
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大樣品尺寸 |
200mm直徑 |
300mm直徑 |
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樣品臺(tái) |
X |
0～100mm |
0～150mm |
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Y |
0～50mm |
0～150mm |
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Z |
5～65mm |
5～85mm |
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R |
360°連續(xù) |
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T |
－20°～+90° |
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大可觀察范圍 |
130mm直徑（R并用） |
200mm直徑（R并用） |
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大可觀察高度 |
80mm（WD=10mm） |
130mm（WD=10mm） |
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電機(jī)驅(qū)動(dòng) |
5軸電機(jī)驅(qū)動(dòng) |
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電子光學(xué)系統(tǒng) |
電子槍 |
預(yù)對(duì)中鎢燈絲電子槍 |
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物像鏡頭光圈 |
4孔可動(dòng)光圈 |
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檢測(cè)系統(tǒng) |
二級(jí)電子檢測(cè)器、高靈敏半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器 |
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EDX分析WD |
WD＝10mm（T.O.A＝35°） |
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圖像顯示 |
自動(dòng)光軸調(diào)整功能 |
自動(dòng)光束調(diào)整（AFS→ABA→AFC→ABCC） |
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自動(dòng)光軸調(diào)整（實(shí)時(shí)級(jí)別對(duì)齊） |
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自動(dòng)調(diào)整光束亮度 |
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自動(dòng)圖像調(diào)整功能 |
自動(dòng)亮度和對(duì)比度控制（ABCC） |
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自動(dòng)對(duì)焦控制（AFC） |
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自動(dòng)標(biāo)記和焦點(diǎn)功能（ASF） |
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自動(dòng)燈絲飽和度調(diào)整（AFS） |
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自動(dòng)光束對(duì)準(zhǔn)（ABA） |
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自動(dòng)啟動(dòng)（HV-ON→ABCC→AFC） |
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操作輔助功能 |
電子束旋轉(zhuǎn)、動(dòng)態(tài)聚焦、圖像質(zhì)量改善功能、數(shù)據(jù)輸入（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)測(cè)量、角度測(cè)量、文本）、預(yù)設(shè)放大、樣品臺(tái)位置導(dǎo)航功能（SEM MAP）、光束標(biāo)記功能 |
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配件 |
■硬件:軌跡球、操縱桿、操作面板、壓縮機(jī)、高靈敏度操作低空探測(cè)器（UVD）、紅外CCD探測(cè)器、攝像機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)■軟件:SEM數(shù)據(jù)管理器外部通訊接口、3D捕獲、裝置臺(tái)移動(dòng)限制解除功能、EDS集成 |
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配件（外部裝置） |
能量散射X射線分析儀（EDS）、波長(zhǎng)色散X射線分析儀（WDS）、 |
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*1.指正放大倍率為127 mm x 95 mm（4x5照片尺寸）的顯示尺寸。
*2.指定放大倍率為509.8 mm x 286.7 mm（1,920 x 1,080像素）的顯示尺寸。
